“老萬,你怎麼看?”許振鳴卻沒直接回答郝寧教授,反而站起身來問萬寧古。

萬寧古此時正用一塊碎布擦著手上的汙漬,臉上的露出猶豫不決的表情。

他有點相信梁宋松的判斷,認為沒有必要再做兩遍鐳射光路系統的測試。但這種連續做三遍鐳射能量測試的計劃是原先預定好的,現在立即推翻的確有些過分。

更何況郝寧教授是團隊裡精通光學的專家,制定的計劃肯定科學。他們這些外行人怎麼能隨便瞎指揮。

想到這裡,他朝許振鳴苦笑道:“許董,我認為郝寧教授是專業人士,制定的計劃應該非常專業,咱們還是按照預定好的計劃來執行。”

“好!我跟你的意見一致,專業的事情應該交給專業的人去處理。”許振鳴笑道,順手接過萬古寧遞來的碎布團。他一錘定音,解決了郝寧團隊和梁宋松的意見分歧。

事實上,按照許振鳴的想法,他本來不便參與這種高精技術專案的決策。但郝寧教授現在要做的是重複兩次測試,頂多浪費一些時間和鈔票。許振鳴承受的起,一鳴集團也不缺這點資源。

更何況,郝寧教授應該不會無的放矢,有自己專業技術方面的考慮才是。

一念至此,許振鳴朝郝寧教授一揮手,“郝教授,你們團隊的測試流程都要按照預定好計劃來執行,不要怕花錢,我們集團公司做專案是不怕花錢的。”

“好的許董。”郝寧教授微笑著點點頭,開始忙碌起來。

而作為專案小組的負責人,梁宋松此時有點尷尬,心裡更是很難受,“這幫土包子不聽老人言,吃虧就在眼前吶。”

梁宋松沒說話,站在那裡一會兒看看郝寧教授團隊的操作情況,一會兒又看看萬寧古這幫人的測試流程。

這時。

萬寧古的團隊成員們已經把光刻機主機系統接上各種測試儀器,要立即再次檢測這臺主機系統的重複精度、運動精度、震動量資料、功率輸出資料、執行過程中的功率變化資料、電磁雜波資料等等。

這套實驗測試流程,也是剛才再三討論過的檢測技術方案。主要目的還是要看一看這臺國產光刻機主機系統的各項資料,跟以前的測試報告有沒有發生變化。

倘若沒有發生變化,那就有點麻煩嘍!

作為一鳴集團公司的重點專案,這臺國產光刻機的主機系統總裝除錯完成以後,其實已經測試過很多次。倘若資料不過關,專案負責人胡明鎮是不會立即做光刻機總除錯驗的。

但今天上午的光刻試驗中出現光刻質量缺陷,這臺裝置若沒出現問題,邏輯上怎麼也解釋不清楚。

帶著這種疑問,萬寧古陪著許振鳴來到光刻機主機系統檢測除錯工作站的旁邊,兩眼一直盯著工作站的監視器螢幕。

時間不久,他擔心的事情出現了……

當這臺光刻機主機系統完成一次模擬光刻執行程式以後,監視器顯示的各項資料都很正常,精度誤差都在許可的範圍之內。

“報告許董,主機系統重複精度小於0.001毫米,資料正常。”

“報告萬總,主機系統的震動量誤差都在量級以內,不會對光刻程式造成影響。”