第七百二十七章 問題到底出在哪裡 【求訂閱】(第2/2頁)

“報告萬總，主機系統的功率輸出一直都非常穩定，模擬光刻過程中沒有出現波動現象。”

“這臺裝置的電磁雜波強度都在量級要求範圍之內，沒有出現異常情況。”

“……”

技術員們非常專注，每出現一個資料就會把情況如實彙報。

透過他們一番比對下來，這臺光刻機主體系統的資料和原始測試資料沒發生變化。這事有點蹊蹺了！

另一邊，郝寧教授的團隊已經完成了鐳射光源的能量測試流程，一切也正常。

不但如此，他們已經完成了第一遍鐳射光源的光譜測試，鐳射在空氣中的散光度誤差很小，在正常範圍之內。

由此看來，米國佬的這臺鐳射光源系統沒有質量問題，效能非常穩定。

看到這一幕，梁宋松也有點傻眼了，“兩套系統單體測試都很正常，組裝總成以後出現質量缺陷。這是什麼鬼情況？”

“這…這事有點邪門啊！”萬寧古此時也有點懵，兩手一攤，看著許振鳴苦笑，並且直搖頭。

今天中午飯的時候，他得到梁宋松的提醒，靈感咋現，其實已經初步判斷出這臺光刻機的故障所在。按照他的設想，米國產的鐳射光路系統肯定沒問題，國產的光刻機主體系統肯定有問題。

但現在一番檢測下來，這兩臺裝置的情況都很正常，問題到底在哪裡？

“兩臺裝置單體都正常，組裝在一起就不正常。在組裝的時候，我們做過哪些改動程式？”

這時，許振鳴慢慢的蹲下身子，目光落在光刻機主體系統的接駁機構處。他的意思很明確，就是這個接駁機構出了問題。

“想想也是，我覺得應該是兩臺裝置的接駁組裝機構出了故障。”郝寧教授朝許振鳴這邊看了過來，說出自己的猜想。

“不可能！我們這臺光刻機的接駁機構是用集團公司最先進的加工中心製造的，加工精度能保證。”萬寧古一邊說話，一邊也跟著半蹲了下來。

這時候，梁宋松有點懵懵的。出於自信，他隨口就否定了萬寧古的判斷，“怎麼不可能？我們集團公司的機械製造水平要比米國佬差了兩代左右，加工精度怎麼能保障？依我看，就是這臺光刻機主體系統的接駁機構有問題。”

“咱們不能隨便亂說，要用實驗資料來說話。”萬寧古不認輸，用手指摸了摸主機系統的接駁機構，感受一下接駁機構的加工面。

這組接駁機構的加工面非常光滑，曲線度、光滑度透過目測應該找不出故障。

所以，許振鳴根本沒準備用手指去體驗這種異型的接駁機構。他觀察了一下，然後側過臉來問萬寧古：“老萬，咱們可不可以用分開的模式來做光刻試驗？”

萬寧古聞言搖搖頭，“光刻機是精密裝置，兩套系統一定要組裝在一起工作才行。否則，光刻流片的精度無法保障。”

按照他的意思，土辦法是解決不了目前的測試困境，這事有點難辦了。