第四百一十一章：適用於碳基晶片的光刻膠(第1/3頁)

石墨烯單晶材料完成，韓元透過特殊的手段將這塊石墨烯單晶材料切割成了大小合適的晶圓並儲存了起來。

這些晶圓後續經過處理後，可以用於製造碳基晶片，他自然不會扔掉。

石墨烯單晶材料完成製備，花費了一些時間，韓元將製備碳基晶片需要的碳奈米管材料、高純度碳化矽晶材等材料一起製造了出來。

製造碳基晶片的一系列的基礎原材料都處理好製備出來後，接下里的工作自然是製造各種需要的裝置了。

其中就有關鍵的光刻機和光刻膠。

......

碳基晶片和矽基晶片不同又相同。

不同的是碳基晶片在中低端晶片上的處理可以不使用光刻機處理。

透過一些特殊的手段, 比如鐳射蝕刻、化學氣相沉積等方法就可以在晶片內部構建出一個個的電晶體。

但這些特殊方式的侷限性都很大，在精度方面都有上限。

比如鐳射蝕刻法在晶圓上蝕刻電路的精度極限就是微米級，要在降低的話，使用這種方法就容易燒穿晶圓電路中的柵極和溝道，進而導致晶片報廢。

所以碳基晶片要達到奈米級別，光刻機是無論如何都繞不過去的一個門檻。

華國研究碳基晶片想要在這條路上實現彎道超車, 也並非是因為碳基晶片不需要光刻機光刻膠這些東西。

而是在韓元沒有出現以前，如果能走通碳基晶片這條路, 那麼可以暫時性的繞開光刻機光刻膠這些東西。

透過這種手段, 將國內製造的晶片在效能上拉到和國外頂級晶片一樣的高度上，進而打破國外的封鎖。

只有打破了封鎖，能夠實現自給自足，才能有足夠的時間、精力、資本去研究更深一層次的東西。

這才是所謂的‘彎道超車’，而不是所謂的直接一步登天，超越米歐。

畢竟頂級的光刻機可是集整個西方國家幾十年精力的科技產物，代表了人類工業化製造的最高水平，怎麼可能就被人隨隨便便就超越了。

當然，像韓元這種直接開掛的除外。

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模擬空間中，又是一日清晨，韓元從床上起來後打點了一下生活，而後開啟了直播，收到訂閱訊息的觀眾進入直播間，紛紛和他打著招呼。

從工作室中出來，韓元手中攜帶了幾捲紙張。

雖然中央計算機已經升級了兩次，也足夠將各種圖紙錄製到裡面了, 但長久以來的習慣還是讓韓元將各種設計圖在紙張上刻畫了下來。

只不過隨著科技的攀升，現在每一種裝置需要的圖紙數量都遠超從前。

以前的一臺發電機四五張圖紙就能全部搞定, 連各種零配件都能畫出來並且標記上詳細的資料。

但現在他手中拿著的光刻機圖紙，光是紙張數就有大幾十張，而且這還並非是詳細的。

如果說要將光刻機的所有零配件已經需要使用的材料、對應的各種引數都寫出來的話，別說幾十張圖紙了，可能幾百張圖紙都搞不定。

這種現代化的頂級工業產物，其複雜度之高，設計之精妙，常人難以想象。

帶著從工作室中取出來的光刻機圖紙，韓元一路來到加工廠。

這裡無論是廠房還是各種工業裝置都經過了升級，大部分的工業裝置中都帶著工業晶片，可以透過中央計算機進行控制。

韓元將手中的圖紙放在桌上，精準的找到其中一卷，而後鋪開，圖紙上繪製的光刻機零部件圖案展露在直播間中。

“這是用於碳基晶片加工的光刻機圖紙的一部分。”

圖紙鋪開，韓元說道：“和加工矽基晶片有些不同，加工碳基晶片的光刻機在零配件上有一些調整，調整的部分主要是光源部分以及透鏡部分。”

“這兩大模組做了一定的修改，以便適應於碳基晶片的光蝕。”

“比如修改後的光刻機的光源，雖然還是使用的極紫外光, 但它採用一種叫做‘離軸照明’技術。”

“和原先的矽基晶片光刻機相比, 這種‘離軸照明’技術可以在一定程度上提高解析度、可以提升焦深、可以提高對比度等等。”

“更適合碳基晶片的光蝕。”

說著，韓元從開啟的捲紙中找到了對應的圖紙，平鋪在桌上，展示給直播間裡面的觀眾看。