第六百六十章 精度再次突破的機會 【求訂閱】(第2/2頁)

用軟體的方法建立機床資料模型，在計算機軟體裡論證好，再開始製造機床，速度快，研發成本還少了許多。國外都是用這種方法設計機床，而我們國內還沒有這方面的研究，差距可想而知。

“嗯…許董的這個方法是比較好。我們還可以把試驗資料庫代入資料模型演算法裡。”洪愛國很顯然已經聽懂許振鳴的也是，激動的笑道。

不多時，他們來到一個恆溫、無塵的試驗車間。

這車間裡有一個類似臥式加工中心的平臺。平臺上有兩個安裝工位的小平臺，加工面非常光滑，用鏡面來形容也不為過。

這座平臺式的機構，就是光刻機的基礎平臺系統，上面將要安裝兩個工位。一個工位用來光刻矽晶圓片，一個工位用於檢測晶圓片。

這種方式的加工方法，就叫雙工光刻機，目前全球都沒有這種裝置。一鳴集團公司的這臺krf光刻機若是能研發成功，便是全球第一臺雙工位光刻機。

這事想想都讓人激動，但實現起來難度非常大！

光刻機的基礎平臺對準精度特別高，要求做到0.0030.01微米，全球有幾家企業能做到？

是以，不要小看這臺體積不是很大的光刻基礎平臺系統，每一個備件都加工件，精度要求都非常高。

許振鳴把李堯喊來，就是讓他參與改進主傳動機構的改進工作，把空氣軸承應用到光刻機的平臺裡。

“我們集團公司正在做這種高精尖的裝置嗎？”聽完許振鳴的介紹，李堯徹底震驚了。他是聽許振鳴說過要做光刻機，但不知道光刻機的精度要求會如此之高。

0.0030.01微米的重複定位精度是什麼概念？用肉眼根本看出來有偏差，只能透過鐳射定位系統來測量誤差。

而這種精度的測距儀器，國內目光好像還沒有，只有一鳴集團公司利用進口元件製作了幾套在使用。即便長弓集團公司這樣的重點單位也沒有，只能從一鳴集團公司來訂購。

所以說，李堯根本沒聽說過，也沒見過這種高精度的測量儀器。他滿腹狐疑的看著許振鳴，心中暗道：“我們集團公司能做出這種精度的裝置麼？”

許振鳴好像能看懂李堯的內心想法。

“李堯，你不用管其他的問題，只要把空氣軸承給我提供過來就行。光刻機的基座平臺對震動量要求特別高，我們已經採用液壓油系統來減震，跟流體軸承的原理非常相似。”

許振鳴朝李堯一揮手，讓他不要把注意力放在其他地方。

他告訴李堯不要小看這種平臺機構。透過液壓油和空氣室的緩衝機構，已經把平臺運動時的震動量減少到最低限度。

聽完這番介紹，李堯倒是給許振鳴提出一個好注意：“許董，按照流體力學的原理來說，我建議這臺裝置的減震系統全部用純淨級的液壓油。空氣和液壓混用不合適，熱膨脹系統不同，會影響精度。”

這方面的技術他比較內行，在發明流體軸承的時候，對各種流體介質都做過試驗。

聽到這話，洪愛國頓時來了精神。

“李總，你能不能把你的流體介質試驗資料庫給我們一份？若那樣，我們會少走許多彎路。”他微笑著看向李堯，雖然知道自己的要求有點過分，卻還是提出這種無理的要求。

這些流體介質試驗資料是李堯十幾二十年的心血，流體軸承專利技術的支援資料。一般情況下，李堯怎麼肯能會跟他人分析資料？

所以說，洪愛國提出這個要求以後，也感到有點不好意思，目光又轉向許振鳴。他希望許振鳴能幫他說句話，把李堯的資料拿到手。

但許振鳴怎麼能說出這種要求？這跟桂長樹問他要晶片foundry的製程工藝技術一樣，許振鳴會同意嗎？

是以，許振鳴只能笑了笑，拿出手機準備給胡明鎮打電話。他想要這臺光刻機的設計人胡明鎮來聽聽李堯的意見，把這臺光刻機的傳動機構原理和減震系統原理再修改一下。

這時候，李堯卻做出一個讓許振鳴的很意外的決策。

“好啊洪廠長，我回去以後就給你發傳真，把流體介質的試驗資料發給你。”他笑得很輕鬆，根本沒有保守技術秘密的想法。

李堯的這番舉措讓許振鳴很感動，“我沒看錯人。多給這位書呆子型的工程師一些股份，是完全正確的。”

想到這些，許振鳴立即撥通胡明鎮的手機號碼，讓胡明鎮快點來數控機床廠的試驗廠房裡討論技術問題。

不久以後，胡明鎮帶著幾名團隊人員，急匆匆的趕來。

他們這些人都面帶喜色，好像碰到什麼開心的事情。許振鳴也看出來了，因為有李堯在場，他沒有多問。

“胡總，這位是李堯，流體力學的專家。他發明的流體軸承技術，應該屬於世界一流的技術。”許振鳴把李堯介紹給胡明鎮，讓胡明鎮一起加入技術討論的團隊。

總之一句話，因為光刻機的光源系統會延遲，這臺krf光刻機的基礎系統可以重新設計，或者修改設計傳動機構和減震系統。

聽完這番介紹，胡明鎮頓時喜滋滋的笑了起來，“李總，歡迎你給我們上課，傳授流體力學的知識。”

說完這些客氣話，他就不再客套了，把光刻機基礎系統的圖紙開啟，請李堯一起審圖，一起討論技術問題。

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