第 207 章 秘密的光刻機部門(第3/3頁)

2.光源放光：大家可以想象成一個幾個發光的鐳射手電筒。

3.移動工件臺：讓矽片有序曝光。

三句話，讓一臺光刻機花了10億元以上，其中自然有自己的道理。

這三句話雖然平平無奇，但是裡面隱藏了人類工程學的眾多巔峰之作，還包括馬天系統開發出來的黑科技技術。

&n的蔡司透鏡，是地球文明可以說最接近三體水滴的得意之作，平整度達到了原子級。

難度係數極高，設計、材料、工藝、組裝缺一不可。

由穆尼國蔡司公司生產，蔡司為阿斯麥爾的光學部件獨家供應商，蔡司的光刻機光學部件就約佔阿斯麥爾產品成本的26%。

“獨家”代表無可替代，“26%”表示成本極高。

從這裡也可以看出這個透鏡多吊了。

當然，這個技術被馬天帶人攻破了，原因就是不想給蔡司公司交費。

再比如對準。對準需靠能同步和曝光的雙工件臺系統，它是愛斯麥爾打敗島國光刻機廠商的法寶之一，現在也是天宇星海打敗島國光刻機廠商的法寶之一。

再比如最重要的光源——由60千瓦的鐳射驅動的極紫外光把液態錫轟成等離子體時發出的同感光波。

是馬天根據系統在1000萬影響值獎勵給他的《一種新的高精度鐳射加工探究》論文研發出來的特殊光源（122章），就這個技術，正常企業最少要花5年時間才能研究出來。

還有很多，這裡就不舉例了。

總而言之，光刻機稱為人類巔峰機械之作不是沒有道理，價格能到數10億，也絕對是物有所值。

幾分鐘後，加工後的矽片從光刻機出來，進入下一道工藝——烘焙，又簡稱後烘。

這一步的目的是透過加熱，讓光刻膠中光化學反應充分完成，可以彌補曝光強度不足的問題。

同時還能減少光刻機顯影后，因為駐波效應產生的一圈圈紋路。

後烘之後，再把之前曝光的部分溶解清除，光掩模上的圖形就出現在了光刻膠上，再用去離子水沖洗。

最後再進行一遍烘焙，不過這次是叫“堅膜烘焙”，當然這裡是針對溼法，如果是用等離子體的幹法刻蝕，這一步可以省略。

進行了這麼多步驟後，才來到觀察精度和測量，也就是這次馬天最直觀要展示的成果——光刻精度展示。

&n的工藝，用普通的光學顯微鏡肯定不夠看了，眾人也是來到了原子力顯微鏡臺。

白衣服的工作人員把剛剛經過好幾步加工的矽片放在了顯微鏡臺上，眾人可以透過儀器精細檢視上面的精度了。

&n的測量結果，赫然呈現在大螢幕上。

聶振遠也不認為馬天會故弄玄虛半天騙他，也就是說，天宇星海真的有光刻9nm精度晶片的技術。

現在只要夏為有一張自己的晶片設計圖，天宇星海就能最少幫他們造出9nm精度的晶片。

&nbsp本章完