第七十章,我是浙江省國資委的

日後名震世界、全球暢銷長達10年之久的的t101晶片一一世界上第一種微處理器,起初竟然是為計算器設計的。確切地說,t100系列晶片是為”工程計算器”特別訂制的。這個時候的電子計算器還是個比較昂貴的東西,擺在便利店裡給老闆算錢數肯定是奢侈了。現在的電子計算器多數用於政府部門和大公司中的會計部門、科研人員、工程設計人員。在歷史年代,計算機並沒有普及到個人,這個得等”個人電腦”微型計算機)出現而不巧的是帶起個人電腦風潮的就是t101微處理器)。加上長久以來形成的工作習慣,許多工程設計人員還是習

慣在紙上做設計畫圖紙。

設計圖紙可不是美術繪畫,畫著畫著就要標註引數,標註引數就要計算。這時候如果手邊有一臺科學計算器,啊我看看這個隧道的受力極限值是多少,幾下數字,選個對數或者開方之類的,得出結果了。

原本畫著畫著就要停下來算半天的工作,現在秒算秒填,也不用去作響的計算機房去操作計算機填寫申請單,你就說方便不方便吧。t100系列晶片是”通計”實驗室設計的,主任設計師是周開泉。t100系列晶片可以作為計算機的核心運算器件是倪光南提出來的。在那關還有一個極為有利的條件:周開泉設計出t100系列晶片後,讓上電的晶片廠代工生産了一小批這種晶片,所以倪光南當場能掌到兩套晶片,要回去攬一臺計算機。當然這時候還沒有適配t101處理器的主機板,所以倪光南又拿了兩塊巴掌大的掌上計算器用的主機板,打算用這主機板改一改變成可以適配常見的計算機i0系統的主機板。“雖然說神光機關現在進入分系統制備階段,我們暫時閑下來了,可是.…”蔣築英提醒道,“做這個東西,是不是也太花時間和精力了?”倪光南:“沒事,工作時間還是工作,這個下班時間做就完全足夠。它的工作量其實沒想象的那麼大。對了,蔣哥,要不要一起鼓搗?”將築英:“我都結了婚的人了,比不上你。”.…..倪光南因為沉迷於晶片和各種計算電路,現在還木結婚..

倪光南:“有什麼關系,正好了,我記得嫂子還是學電氣工程的吧?一起來鼓搗。”將築英:“..

“在正式開始工作之前,我覺得先給我們手頭的工作下一個定義。”倪光南所住的公寓樓的地下室人防工事)。經過公寓管理員的許可,他和蔣築英用了一個週末的時間,把地下室的兩間屋子的雜物搬走騰空,作為倪光南版“微型計算機的設計製造間。蔣築英雖然

是被倪光南拽著參加設計工作的,可在白天蔣築英是倪光南的老闆,所以一一蔣築英出於工作習慣,站在頂層的高度闡述了一下他所理解的這臺計算機的意義。

“上海農業學院的大專生也要求上計算機課,掌握計算機的基本常識和使用方法,這一條以前我沒有注意的資訊給了我很多啟發。”“工業化和資訊化同步建設的總目標又從國家的層面上確認了一點,那就是整個社會是資訊化的,計算機將來是會遍佈我們生活的每個角落的。所以計算機未來一定是..一定是個人或者家庭就可以購

置的物品,和汽車一樣,將來都會出現在家庭。

“所以,倪光南你的想法很有敏銳性。.…..8個256位元組的ro晶片夠不夠?”蔣築英一下子就跳到具體的設計細節去了。了256位元組的ro,在計算器上用一片就夠了。在計算機上不夠,計算機得執行其他自由度更高更複雜)的程式,需要在ro中裝訂許多資料比如倪光南設想的,這臺計算機可以運算速度不怎麼樣,但一定要帶得動硬碟,這就得有個硬碟驅動程式一一僅這個程式的佔用ro大小可能就超過了“通計”設計的固化在科學計算器裡的程式。倪光南想了想:“應該得8個256位元組的ro晶片並聯在一起。我想了想,電路圖應該是這樣的..

光畫電路圖可解決不了問題,這世界上第一條記憶體條最後要落實到請工廠代工製作電路板。個人請工廠代工?不好申請。不過解決的辦法也有,首先是可以借用神光計劃甚至複旦的半導體的名頭。其次是,如果不想惹上公器私用的糾紛也簡單,註冊一個公司就可以了。“一種使用計算器的運算晶片的計算機?這種想法也不是不可以…上電的通用計算機設計組我覺得可以安排出人手組建一個小團隊。”這是黃昆給蔣築英和倪光南的建議。將築英覺得無所謂,交給上電通用計算機設計室也行,倪光南卻擔心上電的設計班子無法理解他的真正的想法。

“你要組建一個自己的設計團隊?“蔣築英發現倪光南的腦洞越來越大了。“不是我自己的,是咱們兩人的,就咱們兩個人擔綱,其他的人只需實現我們的想法。“倪光南信心十足,“這樣,組建團隊就不用什麼技術大牛,普通的半導體專業的本科生就可以,因為技術大牛有

我們兩個就夠了。

蔣築英:“你可別把副業當主業了啊。不說了不說了,我得去一南京督促他們,回來正好差不多是國慶節,假期連看周未,我打算回杭州老家看看爸媽。”

南京負責非接觸掩膜光刻機的步進系統,這個系統在1963年蔣築英初構想光刻機的時候並未考慮到,但深入下去之後才意識到光刻機從接觸式改非接觸式之後要一個步進系統,而且,這個步進系統是光刻機的核心器件之一。

接觸式掩膜光刻機用的不是步進系統,是對準系統。掩膜要放在矽片上固定,直接和矽片接觸,而且從第二代光刻機開始採用多次曝光的方法來“曬”矽片上的光刻膠,掩膜就要重複放下去固定照射抬起來再放下去固定的過程,對準系統就是幹這個用的。保證掩模重複抬起放置時,定位在精確的位置的能力。

非接觸掩膜光刻機用的不是汞燈而是鐳射器,光路發散聚焦再發散再聚焦,最後光線彙聚照射在單晶矽片表面的某一區域,讓這一區域“顯影”出晶片的圖案,就要矽片不停地移動,完成多次曝光。“咔”“咔”“咔嗪”“.蔣築英去的南電集團的實驗室以前是做雷達的旋轉系統的,這倒是和步進系統有點沾邊,造出來的機器的基本要求都是一樣的:要做極致精確的運動。將築英進實驗室的時候,南電的實驗室管理員讓他先進到一個小隔間,然後指著一套看起來像防化服的裝具:“您好,進去之前,得先穿上它,然後再進入洗塵間,然後才能進入工作間。”蔣築英:“啊呀,老程不得了,你們都搞無塵車間了。”步進系統的設計主任老程說道:“現在的問題是,即使有二小粒10微米直徑的灰塵進入了步進系統的鐳射對準眼,這個儀器就可能發生光路不準的情況。還有啊,蔣主任,我不得不說一句,將來你們

光刻機如果進入到10微米以下、5微米、3微米,最後必然是要使用無塵車間。

蔣築英:“我有這個想法,但沒想到的是,你們步進系統首先意識到無塵車間的必要性。”老程:“我覺得你們現在就可以用10微米的生産線,改造成一個無塵的環境試一試,我覺得,真正無塵的環境下生産線的良品率肯定有一個肉眼可見的漲幅。”

非接觸掩膜光刻機原型機使用的是10厘米4英寸)單晶矽切成的矽片,像個茶杯墊。在1958年,李強和黃昆突然想用平面工藝生産晶片的時候,國內生産的單晶矽柱只能切出5厘米2英寸)的單晶矽片,掌在手裡就跟一塊銀元似的。

10厘米單晶矽無疑大大提高了晶片的生産效率,降低了生産成本,但也對單晶矽的品質以及整個晶片生産線的精度提出了新的要求。這曾是第五代接觸式)光刻機研製時最難解決的問題。蔣築英的非接觸式原型機也用10厘米單晶矽,很多工藝其實是沿用第五和第六代接觸式)光刻機上的半現成設計。但在計入定型前的最後

設計階段,李強突然從北京打了個電話:

“蔣築英啊,如果將來的單晶矽從10厘米擴大到15厘米,這種6寸矽晶圓掌來做晶片,光刻機尤其是那個步進系統你們想好如何修改嗎?”蔣築英“.李強:“15厘米之後是20厘米,之後是30厘米,你要考慮考慮,這些最後都要相容喲。如果搭架子的時候為這些做好準備,那麼光刻機的後續發展就會順利很多。”將築英把李強的壓力傳導到了南京,南京老程被迫眼淚注注地把步進系統的軟硬體都設計為具有強擴充套件性的半開放式系統。半開放式系統還有另一個好處,就是它既可以在光刻普通晶片比如處理器、記憶體晶片)的時候提供步進動作,在刻d、刻太陽能電池板的時候也可以很方便地切換過去,d電荷耦合器件)現在在電子行業內部已經不是秘密了,不只是數碼成像數字傳輸的偵察衛星,其他的産品線也在蠢蠢欲動,各家都在研究電荷耦合器件的數字成像技術。

“你好,請問您要去哪?”“我去慶春路,慶春路的南邊,我認識路,到了地方我讓你停車就行。”“好嘞。”杭州火車站。蔣築英從南京出差歸來就是9月29旦了,第二天下午他就和妻子一起坐火車回到了杭州。出火車站,蔣築英照例打了一輛“三蹦子”。從火車站到慶春路爸媽住的地方其實很快,十幾分鐘

就到了。蔣築英拎看皮箱、妻子背看大揹包跳下三蹦子,他倆意外地發現一一家門口停了一輛車。

是那種蘇聯的老版轎車。“您好,是蔣築英同志嗎?”蔣築英:“是啊。”“這位一定是您的愛人吧。”

“是啊。請問您是..”“我是浙江省國資委的,“在家門口轎車旁的訪客恭敬地說道,“我們對您和倪光南提出的微型計算機專案很感興趣,不知道有沒有興趣仔細聊一聊?”