第96章 二元光柵照明(第1/2頁)

從資訊光學的觀點出發，掩模圖形在經過投影系統成像時，由於數值孔徑大小有限，高頻部分不進入光瞳，它們對影象成像沒有什麼作用，導致對比度降低，影響成像質量。

為了改進成像質量，提高光刻解析度，可以透過降低低頻成份來調製高頻，從而使成像質量得到改進，改變照明可以達到此目的。

通常情況下，改變光源形狀，減少低頻訊號，也就是採用其它的照明模式，就可以提高影象的對比度。這種方式相對成本非常低，比起直接尋找虛無縹緲的鏡片而言更易於實現，更符合現在晶華的現狀。

“江師兄，四極照明和環形照明可以提高實際解析度，增大焦深，但是也存在致命的缺點。”王向中想了一會，說道。

雖然他對光學原理涉獵比較淺，但是他的腦子已經將後世的不少論文和發現給深深地印刻在了腦子裡面。

“為什麼？”江超愣了愣，旋即才反應過來，沒想到王向中竟然還懂微細加工光學，著實也是暗中吃了一驚。

“我也是在看報紙時偶然間掃到的，”王向中笑了笑，“這兩種方法的能量利用率至少要損失一半以上，曝光時間也相對比較長，在實驗室裡用一用還行，如果放到實際生產中，恐怕生產效率要降低不少。”

江超在聽到王向中的話後，便是低頭托腮，陷入了苦苦沉思之中。

傳統的離軸照明法通常採用四極或環形相干片來實現，對整體的情況

“我倒是聽說過這些說法，”一旁另一個女生突然開口道，“在相干度較小的時候，由於光波的干涉作用，在焦面附近的光強曲線中出現了光強的極小值，這事引起鄰近效應的重要原因之一。”

“如果採用新的離軸照明手段，比如二元光柵照明，可以顯著提高光強的對比度，改善成像系統的頻率傳遞函式，可以在一定程度上消除鄰近效應。”女生道。

這話講的江超一愣一愣的，真是人外有人，天外有天，這一支小隊內果然是藏龍臥虎，即使是如此專業的知識點也難不倒他人。

“厲害厲害，不知道師妹師從哪位名師？”江超笑道。和劉兵不同，他為人比較隨和，也沒有什麼鋒芒和架子，對於什麼權力、虛名都比較淡泊，隻言片語之間都讓人如沐春風。

“師兄過譽了，”女孩回覆道，即便此時她戴著護目鏡和口罩，但也不難看出她的臉已經紅到了脖子根，“我只是光電工程專業蕭炎教授手下的一個普通研二學生，只不過主攻方向是微細加工光學罷了。對了，忘了自我介紹，我叫譚珊珊。”

“原來是譚師妹，”江超點了點頭，繼續說道：“你可以講講二級光柵照明法的具體優勢嗎？”

譚珊珊聽言，便是在低頭整理了片刻思緒，隨後說道：“如果是透過電磁理論來分析的話……”

她的理論井井有條，在專業性上也是毋庸置疑，不過作為外專業的其他人，包括王向中在內，都是聽得一愣一愣的，很多東西都聽不太懂。

但是具體總結一下主要有四點，二元光柵照明對光能利用率、照明均勻性、解析度和焦深、光強分佈都有著不同的影響。

“當然這些都是恩師的研究成果，我只是學到了一點皮毛罷了，”江珊珊顯得有些不好意思，“我們進行過模擬初步測算，二元光柵照明法理論上能將1.0微米的解析度提高到0.55微米，相比四級照明和環形照明的60秒曝光時間，二元光柵照明只需要20秒的曝光時間，效率提升足足翻了三番。”譚珊珊道。

“竟然有這麼多。”

“這蕭炎教授真是個天才！”