第95章 技術探討

“咱們真的要把光刻機給拆開？”

淨室內，白馬的雙手都在忍不住顫抖。

這玩意一臺價值千萬，全華夏都只有那麼屈指可數的幾臺，不得不說王向中是真的會玩。

“不拆怎麼行，不拆，怎麼學習人家的先進技術？”王向中笑道，手上那可是一刻都沒閒著。

此時的他正帶領著幾個研究生，拿著螺絲刀和扳手，正在一絲不苟地拆卸著眼前的康尼光刻機。

儘管李東對此事表示萬分反對，但在王向中的威逼利誘之下，他也不得不接受這一切，畢竟條件太誘人了——免費的工藝提升，又有誰能拒絕這個條件呢？

但一下子要讓廠裡損失五分之一的產能，每個月損失高達數百萬，這也讓李東心痛不已，但是一想想晶華的未來，他最終還是忍了下來。

將防震裝置卸下，撬開光刻機上的鋼製蓋子，其中的透鏡組以及工作臺便露出了水面。

“我們現在不著急把透鏡組拆開，我們先透過廠裡留存的資料和物鏡組的物理結構，畫一個模型，測算一下理論資料。”

王向中指著透鏡組說道。這款尼康NSR1010g的透鏡組高約1.2米，直徑約在1020厘米範圍之間，與後世出現的DUV光刻機鏡頭不同，它整體呈現一個兩頭細、中間粗的樣式。

這是一組典型的遠心鏡頭設計，遠心鏡頭設計的好處就是它可以在一定的物距範圍內，使得到的影象放大倍率不會變化，這對被投影物不在同一物面上的情況是非常重要的應用。

透鏡組中含有17塊直徑大小、球面曲率皆是有所不同的凸透鏡和凹透鏡，其中部分球面鏡可以使用位置調節功能，用於調整透鏡的散射和誤差。

因為在光刻過程中，當鐳射透過透鏡組時，透鏡本身還會吸收鐳射本身的部分能量，導致透鏡受熱膨脹，最終使其密度發生變化，折射率改變。

因此在這根透鏡組管上，還有不少預留於通風的管道和加熱裝置，用於給鏡片散熱和加熱，讓焦深保持穩定狀態。

正當王向中解釋著鏡頭時，不少研究生已經開始用捲尺和遊標卡尺測量記錄引數、模擬畫圖了。

他給在坐的研究生們詳細介紹了一番光刻機的內部結構和原理，幾乎是如同信手拈來一般流暢，瞬間也是扳回了不少印象。

原本他們還以為王向中只是個憑藉背景，不學無術的小屁孩，沒想到在理論研究上造詣竟然如此之高，因此眾人自然是會對他高看幾分。

現在看來，把劉兵這種人物趕走顯然也是有他自己的道理。

“說了這麼多，但畢竟我不是光學和材料學的專業人員，有些事情還得靠你們。我們拿不到康尼公司給到的具體資料，因此只能是自己動手驗證。”王向中嘆了一口氣道。

但是研究生們似乎壓根不理會王向中的言論，只是近距離地觀摩研究著這美輪美奐的精緻設計，還不時發出讚歎之聲。

“這些鏡頭的材料都是氟化物晶體，據我推測，康尼的物鏡大概使用的是特殊合成石英，這種材料的透光率極高，國內暫時還搞不到。”

“目前來講，有兩種方案，第一種是加鏡片，透過在狹小的空間內加入更多的鏡片，從物理層面提升它的數值孔徑；第二種是改裝投影物鏡鏡頭裝置，透過技術層面來增加數值孔徑。”

“受專業限制，我不知道哪種方法更現實，所以還要請各位師兄結合實際，驗證一下這兩項方案的可行性。”王向中補充道。

對於大數值孔徑光刻投影物鏡來說，除了完善的光學系統設計方案外，關鍵在於光學加工、裝校、調整以及相關的測試。投影光刻物鏡鏡頭裝配的最終目標是嚴格按照理論設計的要求保證鏡頭中每個鏡片的相對空間位置精度，其中最主要的是沿光軸方向的空氣間隔和相鄰鏡片之間的偏心誤差，對光學元件的空氣間隔和偏心誤差的檢測精度往往在1/5到1/10微米之間。

“我認為第二種方法更可行。”此時，一個青年男子從人群中站起身來，“我是江超，和劉兵一樣，都是物理系吳光教授手下的博士研究生，目前正在讀博一，他是我的師兄。”

“第一種方案顯然不太可行，康尼這款光刻機的整體鋼骨架是固定的，加入更多的鏡片就意味著相應的透鏡組整體長度也要增加不少，要想把數值孔徑提高到0.5，需要至少25片透鏡，這個不太現實。”

“雖然設計上的難度其實不是特別大，從雙高斯入手，一段段分裂透鏡，改進足夠久後總可能得到一個不錯的結構形式。”

“但在投影光刻物鏡鏡頭裝配的過程中，子鏡筒裝配、鏡筒級聯裝配、鏡片偏心和空氣間隔的檢測以及單個鏡片的位置調整等步驟是一個反覆迭代進行的過程。並且鏡片的空間位置檢測以及單個鏡片的位置調整具有相當高的實時性要求。”

“最重要的一點，”江超深深地嘆了一口氣，愁容滿面道：“我們搞不到鏡片。”

眾人聽到江超的一番話，皆是陷入了沉思之中。

的確如江超所言，光刻機鏡頭的最大難度不在設計，而在於工藝實現這一步，不僅是材料很難搞，合成石英需要降應力、提純度、去氣泡條紋，還有超高面型精度的鏡片加工，打磨、測量、裝配等等工作都夠他們一群人吃一壺了。

所以應用現有的鏡頭結構，透過部分技術引數的調整，同樣也可以實現數值孔徑提高的要求。

“我有一個大膽的想法，斗膽一說，還請大家多多分辨分辨。”江超調整了一下護目鏡，“我們可以嘗試在照明上多做一些功夫，比如採用離軸照明法、四極照明法，環形照明法或者是傾斜照明法。”

“當然鏡頭上也要有改進，透過對溫度、氣壓補償來實現倍率補償，從而改善線寬質量和提高解析度！”