第452章：光刻機(第2/4頁)

所以，晶片廠的自動化要求特別高，人反而是累贅。

能用機器的地方就不用人。

廠房裡面還需要不間斷的吹風。

一邊吹一邊過濾，確保完全無塵。

而這種吹風過濾的機器，叫風機過濾機組。

這種機組，只有老美和島國才能生產出來。

這也是武長風讓霍家齊去往島國購買的空氣淨化裝置的緣由。

就連過濾用的濾紙，在後世都沒有國產能夠替代。

在晶片生產這個流程裡面，類似這樣的細節還有很多。

這不僅僅是環境的要求，還有更多的注意事項，簡直就是讓人頭皮發麻。

進入車間後。

霍家齊陪在武長風身邊，一邊介紹，一邊說道：“為了啟動這玩意，咱們花了不少時間，但時間反而是不值錢的。”

“花錢最多的就是購買各種原材料。”

武長風點點頭：“不要急，慢慢來，你要知道，現在能買到，這都是高光時刻了。”

霍家齊有點懵逼，啥意思？

以後還買不到了？

這讓霍家齊無法理解。

但他也沒多想，只要有老闆武長風在，一切問題都能解決。

老闆就是這麼一個創造奇蹟的人。

隨後，霍家齊展現了自己專業，紮實的基本功。

指著光刻機部件一一介紹道：

“老闆，我們這是半自動裝置，對準可以透過電動軸根據CCD的進行定位調諧。”

“這是紫外光源，曝光系統最核心的部件之一。”

“這個是對準系統，採用的全氣動軸承設計專利技術，有效避免軸承機械摩擦所帶來的工藝誤差。”

“這裡是工件臺，顧名思義就是放工件的平臺，光刻工藝最主要的工件就是掩模和基片。”

“工件臺為光刻機的一個關鍵，由掩模樣片整體運動臺（XY）、掩模樣片相對運動臺（XY）、轉動臺、樣片調平機構、樣片調焦機構、承片臺、掩模夾、抽拉掩模臺組成。

“其中，樣片調平機構包括球座和半球。調平過程中首先對球座和半球通上壓力空氣，再透過調焦手輪，使球座、半球、樣片向上運動，使樣片與掩模相靠而找平樣片，然後對二位三通電磁閥將球座和半球切換為真空進行鎖緊而保持調平狀態。”

“樣片調焦機構由調焦手輪、槓桿機構和上升直線導軌等組成，調平上升過程初步調焦，調平完成鎖緊球氣浮後，樣片和掩模之間會產生一定的間隙，因此必須進行微調焦。”

“另一方面，調平完成進行對準，必須分離一定的對準間隙，也需要進行微調焦。”

“抽拉掩模臺主要用於快速上下片，由燕尾導軌、定位擋塊和鎖緊手輪組成。”

霍家齊整整介紹了一個多小時。

武長風聽的直迷糊。