第七百六十七章 偉大時刻 【求訂閱】(第2/2頁)
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胡明鎮聞言,稍稍猶豫了片刻。他性格謹慎,從來都不喜歡冒險。但是為了政治任務,只好微微點頭,“老郝,我同意執行流片測試程式。”
“好!”
郝寧教授朝負責流片的技術員們一揮手,“立即執行流片工程測試程式!”
隨著他這一聲令下,光刻室裡的技術員們頓時都忙碌起來,做流片工序的準備工作。
晶片流片非常講究,僅僅光刻室裡就由許多道製程工藝組成。
比如說,蝕刻掩膜片、給掩膜片塗抹光刻膠、清潔鐳射頭、鐳射頭校準對焦……等等等等。
這些工序的精度要求都非常高,而且要在無塵狀態操作,不得馬虎。
不但如此,光刻室的燈光照明、聲波、震動波、電磁波、溫度、溼度等技術引數都有嚴格的規定,否則都會影響光刻矽晶圓片的精度,影響流片的成品率。
“老胡,這臺裝置我們已經測試過很多次,也透過好幾次實戰,應該沒問題。”郝寧教授見胡明鎮的目光一直都盯著光刻機工作站的電腦顯示屏,所以才特意走來寬慰幾句。
胡明鎮聞言收回目光,朝郝寧教授頷首點頭,“我知道這次流片測試應該問題不大。但總是感到有些不踏實。”
“是不是就像準備去參加高考一樣?”站在他身旁的劉教授說起玩笑話,拿胡明鎮開心。
玩笑話雖然是玩笑話,但跟胡明鎮此時的心態有點類似。作為搞技術研發的一名專家,每當自己的科研專案接受論證審查時,應該都是這種心態的。
一個半小時以後,梁宋松對這臺光刻機再三巡查了一遍,然後朝胡明鎮伸出兩個大拇指,“報告胡總,全國產第一臺KrF光刻機已經做好準備,下面要開始執行光刻製程工序,請指示。”
“開始!”
胡明鎮猛然一揮手。
“嘟嘟嘟……”隨著這一聲令下,這臺光刻機主體系統上方的報警燈開始閃爍,隔絕玻璃門開始緩緩關閉。
“好啊,終於開始了。”
“這是一個偉大的時刻!”
“我們這些人都在見證歷史啊。”
看到這一幕,劉教授、董教授、單教授等人都非常激動,嘴裡忍不住嘮嘮叨叨的說著話。
因為他們這些人跟胡明鎮一樣,也是第一次見證這臺全國產第三代光刻機的正式執行光刻製程工藝。
這是一個值得紀念的時刻!
劉教授特意看了看自己的手錶,時間是:“1997年,2月16日凌晨0點19分30秒!”