第七百六十六章 發現新大陸 【求訂閱】(第1/2頁)
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看了看激動不已的專家教授們,胡明鎮卻非常冷靜。榮譽對於他來說已經不算什麼,關鍵是要把國產第一臺光刻機給除錯好才最重要。
這臺光刻機的兩套分系統都已經透過驗證,確保沒問題。但把這兩套系統重新組裝起來,並且再次做聯動除錯,這還是第一次。並且在一幫院士級專家的眼皮子低下操作,胡明鎮不得不慎重。
“液壓組彙報情況!”他眉頭一揚,朝自己的一位弟子看過去。
“液壓組沒問題,液壓站資料一切正常!”
“壓縮空氣組沒問題,風機已經啟動,空氣包的壓力很穩定!”
“照明組一切正常!”
“起重組已經做好準備工作!”
“……”
隨著胡明鎮的這一聲令下,各小組負責人都立即逐個的彙報資料,和裝置執行狀態。
一番檢測下來,這臺光刻機的所有分系統都已經做好準備,具備馬上對接安裝的良好狀態。
“開始對接!”胡明鎮豎起兩個大拇指,按照裝置對接組裝流程下達開始對接的指令。
嘟…嘟…嘟……
吊裝指揮長吹起了口哨,開始指揮叉車工起重,橫移。
看到這一幕,劉教授、董教授、單教授等人都不由得屏住呼吸,心情緊張的見證華國第一臺KrF光刻機的對接接駁儀式。
隨著“啪”的一聲響,鐳射光路系統和光刻機主體系統正式對接好。見胡明鎮的團隊沒有做任何的對位精調就鎖定了鐳射光路系統,劉教授等人都非常吃驚。
“這…這能對準嗎?”
“鐳射光路系統的重量特別大,接駁箱的體積和接觸面又這麼小,液壓鎖定時怎麼能調節好軸向、水平向、垂直向的誤差?”
“我看不明白!”
劉教授等人狐疑的看向胡明鎮,表情比桂長樹那一組的專家們還要駭然。
他們這幫人都院士級教授,理論水平非常高,即便橫跨一個專業還是能說出一二三的。正是因為內行,他們這才更震驚。
“諸位院士不要慌張,我們這套PDIX震動調節系統會自動適應和調節安裝精度誤差的!”這時,負責解說的梁宋松得意洋洋的一笑。
他用手中的一跟鋁合金小細棒,指了指PDIX系統的工作站螢幕,把水平向、垂直向等各項引數的資料位置指示出來。
這時候,負責操作工作站的技術員已經按下啟動鍵,讓PDIX系統開始自動調節各項資料。
於此同時,郝寧教授的團隊成員們也忙碌起來,啟動高精度YMDM三座標測量儀、高精度YMDM電子水平儀、高精度YMDM鐳射測距等精密儀器。這些儀器都和測量工作站相連,把測量的資料實時反饋到電腦螢幕上。
“報告胡總,垂直度誤差小於0.0000001,水平向誤差小於0.0000001……”技術員看著資料,立即把情況向胡明鎮彙報。
這次測量的資料都正常,符合光刻機對接安裝技術引數。倘若用一般的測量儀器來檢測光刻機主體系統和鐳射光路系統的安裝精度誤差,此時的資料一定是0.0000。
看到這一幕,劉教授等人頓時都來了興趣。
“老胡,你這套高精度的多三維測量儀器是從哪個國家進口的?我們學校曾經跟德國人提出購買,他們不同意啊。”12
“我們科學院也是如此。曾經跟島國人商量好,正式合同都已經簽訂了。他們卻在最後的時候變了卦。”