第七百二十八章 原來是波的問題 【求訂閱】(第2/2頁)
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“就是不知道是哪套系統的波有問題?還是電磁雜波有問題?”
技術員們開著玩笑,開始拆卸接在主體系統上的感測器。
他們準備把這套感測器接到鐳射光路系統上面,測試一下這套鐳射光路系統的電磁雜波頻率和震動頻率等。至於那鐳射頭裡射出的鐳射光束頻率,工作站的電腦裡早就有了資料。
………
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就這樣,一個小時以後,兩套系統的測試資料已經被列印出來。
“許董,原來是震動波的問題。咱們的光刻機主體系統和鐳射光路系統的震動波頻率非常接近,肯會產生共振現象。”萬寧古揚了揚手中的A4列印紙,臉上露出開心笑。
這一番折騰下來,他都操碎了心。現在能準確定位這臺光刻機故障缺陷的原因,他怎麼能不喜出望外?
許振鳴也是如此。透過這一番的科普,他對第三代KrF光刻機的原理也算比較精通了。雖然不能像萬寧古、梁宋宋、郝寧這些專家那樣精通,要是去忽悠外行人,保準沒問題。
更深層的原因是,許振鳴透過這一番實驗,對這臺國產第三代光刻機的效能有把握。
“我們集團公司總算跨出了那麼一小步。國產第一臺KrF光刻機將會在不久的未來誕生,而且就誕生在我的手中。嘿嘿……”許振鳴笑的也很開心。
他笑嘻嘻的問心情激動的萬寧古,“老萬,咱們既然找到了原因,什麼時間能解決這個缺陷?”
“應該很快的許董!老梁你說是不是?”萬寧古笑嘻嘻的跟鬱鬱寡歡的梁宋鬆開玩笑。
梁宋松此時的心情很複雜,慶幸自己沒草率出頭,說出自己的論斷設想,“這要是在會議上提出這臺光刻機的故障缺陷原因,我現在應該出醜了。”
他冷冷的想著,複雜的目光看向許振鳴,“他怎麼能觀察到是接駁機構出了問題?”
梁宋松的內心戲非常多,此時其實已經想好了一個解決這種故障的好辦法。但這種時刻,他不想說出來,免得再次受到挫折。
這時,郝寧教授來到許振鳴的身旁。“許董,我建議咱們召開一個技術討論會議,在會議上透過討論解決這個問題。”他非常謹慎,沒在自己不擅長的領域亂下結論。
“對對對!郝教授說得非常有道理。要完美解決這個技術問題,咱們應該集思廣益才行。許董,我建議應該擴大參加技術討論會議人員的範圍,老胡、老章他們這些人都要來參加。”
萬寧古喜笑顏開的跟許振鳴提建議。他這個提議倒是有建設性,可以一攬子解決兩臺光刻機的技術缺陷問題。
但許振鳴此時卻不這麼想,而是伸手看了看手腕上的手錶,“現在是晚飯時間,咱們先吃飯,然後再做決定。呵呵……”