第七百二十三章 第一步 【求訂閱】(第1/2頁)

“許董，按照目前的情況來看，我們集團公司生產的鐳射光路系統應該能跟老外的光刻機配套。”胡明鎮只有九層把握，並沒有把情況說死。他還是有點擔心這套鐳射光路系統不能提供精準的鐳射光源。

光刻機的原理和照相機的原理基本一樣，都是用曝光來成像。但第三代光刻機的精度非常高，最低可達到0.018微米。倘若再使用FinFET製程技術和浸潤式光刻製程技術，精度要達到0.01微米以下。

由此可以想到，第三代光刻機對鐳射光源的功率、穩定性的要求肯定非常高，一般的國家不能生產這種尖端裝置。這也是胡明鎮所擔心的事情。

胡明鎮一邊說話，一邊指揮著李全等人怎麼組裝鐳射發生器、光學儀器、光學鏡頭等精密裝置。這套裝配流程非常重要，能直接影響到鐳射光路系統的精度和可靠性，胡明鎮不得不小心行事。

“裝配工作什麼時間能完成？”

看到李全等人的進度不是很快，許振鳴認為站在這裡沒啥意思，準備再去隔壁車間巡視一下。臨走之前，他向胡明鎮要了一份這臺光刻機裝配和除錯的工程進度表。

“許董，如果一切順利，我們會在元月28日左右開始試生產，並且用這臺光刻機來流片。”胡明鎮比較忙，跟許振鳴說了幾句，又開始投入工作。

許振鳴見此，拿著一摞用A4紙列印的資料，一邊翻看著一邊朝隔壁的車間走去。

“三天內完成裝置組裝和安裝，五天內除錯好這臺裝置，第九天以後開始做試生產的準備…嗯，這個計劃還算可以。”

許振鳴一邊走路一邊頷首點頭，認為胡明鎮的工作做得不錯，準備很充分。

不多久，他來到4號鋼構廠房的另外一個光刻室。

這間光刻室是用來安裝國產光刻機的生產車間。

車間裡此時也非常忙碌，萬寧古、何昌林和郝寧等人也正在裝配第三代光刻機。

他們這邊的進度好像要快了許多，鐳射光路系統的部件已經組裝完成，光刻機的主體系統也已經組裝好。萬古寧等人正在召開現場討論會，好像要準備進行光刻機的總裝工序。

看到這種情況，許振鳴倒是不理解，“老萬，你們這邊的進度為啥要快一些？”

“許董，這臺光刻機的主要部件我們都已經準備好，就等著總裝和除錯。”萬寧古告訴許振鳴這臺光刻機的鐳射光路系統是進口貨，其實根本不要檢驗其效能。最關鍵的事情就看光刻機總裝以後的效果。

“光刻機的精度主要是受主體系統、底座、橫移、減震等子系統的影響。萬一這臺裝置的主體機械系統精度不夠，我們的專案還是沒成功。”

說到最後，萬寧古的眉毛全都皺了起來。他對這臺光刻機主體系統的精度很擔心，心裡沒有十足的把握。

聽到這話，許振鳴的心情也好不起來。“你們需要多長時間來準備？”念及此，許振鳴想要知道萬寧古等人的總裝和除錯計劃。

“三天左右吧。”何昌林掃了一眼現場的情況，緩緩說道。

“三天恐怕不行，最少要五天時間。”

“最多五天時間，許董。五天以後，我們就能做流片試驗了。”