第94章 科研人員的震驚【第三更】(第2/3頁)

所以馬從明和胡興對此感到奇怪很正常。

想獲得波長較短的極紫外光源, 要採用的辦法是將二氧化碳高功率鐳射脈衝照射在直徑極小的錫滴液靶材上，激發出高功率的等離子體，來作為光刻機的光源。

整個光源系統需要高功率鐳射器，聚焦和位置控制的真空容器，液滴發生器收集器和計量模組等裝置。

其中最關鍵的技術就是預脈衝，和在高頻下產生極小且穩定的錫液滴。

再加上關乎光源裝置使用壽命的收集器，難度確實讓人無法想象。

可對於已經掌握了全部核心技術的徐磊來講，想要製造出能夠滿足這些要求的裝置，並不是什麼太困難的問題。

面對這種情況，增加科研人員的數量顯然是不可能的。

不過為了讓他們兩個人安心配合自己的工作，最終徐磊還是多說了幾句。

“你們擔心的問題我都清楚，但我既然敢做出這種人員安排，肯定是有原因在的。”

“相信我。”

“用不了多長時間，你們就會看到成熟的極紫外光源發射系統。”

話音剛落。

徐磊便轉身朝工作臺走去，顯然不想在這個問題上再多費口舌。

聽到這番話，馬從明和胡興兩人先是相互看了一眼，然後和徐磊一樣徑直走向工作臺。

因為他們雖然擔心在光源上的研發會趕不上其他人的進度，可也不想被調離研發專案, 畢竟徐磊不管怎麼說都是專案的負責人，有權利對開發人員的增減調動做出調整。

反正在他們看來，等到徐磊在光源系統上的研究陷入瓶頸，肯定會主動改變。

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……

相比之前處理公司上的業務，沉下心來進行技術研究，徐磊明顯感覺到時間流逝的速度似乎更快。

轉眼便過去了十多天。

而在這些天裡，徐磊在馬從明胡興兩個人的輔助下，終於完成了鐳射器的組裝。

雖說這只是整個光源系統中的其中一件裝置，但代表的意義卻不一樣。

標誌著他們成功邁出了第一步。

但要想將鐳射器應用到光源系統中，還需要先對其功率波長以及壽命進行測試，確保它能夠滿足頂級光刻機的需求。

“徐工，鐳射器已經準備妥當，可以開始測試了。”

這天上午。

光源實驗室內。

當馬從明把這臺鐳射器安裝除錯完畢後，立刻開口對徐磊進行彙報。

言語中能夠聽出略顯激動的情緒。

主要組裝這臺鐳射器他們也多少出了份力，雖然不太相信測試資料能達到海外水平，但身為科研人員在這種時候總是難以控制心底的那份興奮。

當然。

相比他們兩個人，徐磊明顯平靜許多。

看到馬從明已經準備妥當，隨即下達了開始測試的命令。