第36章 反了他了還！(第1/2頁)

總工程師當然不認為康碩真的能夠解決問題，而且實驗室是非常機密的地方，就算是他也沒有權利隨便就帶人進去參觀。

這些規矩康碩當然也清楚，他本來也沒指望自己一句話就能讓總工程師深信不疑，畢竟還沒打過交道。

不過，康碩有的是辦法，他接著說道：“光刻工藝過程中，自動傳輸裝置將晶圓送入光刻機，首先的操作就是掩模與晶圓的預對準。

“隨後視像自動對準系統啟動，透過工業相機從光刻機的顯微鏡相機介面獲取含有掩模和晶圓對準標記的影象，然後計算機影象處理演算法會分別獲取掩模和晶圓的對準標記中心座標。

“跟著這個標記就可以計算出掩模和晶圓對準標記中心座標差，精確控制光刻機掩模臺的移動，經過反覆影象分析和調節，最終完成掩模和晶圓自動對準。”

“我猜，你們的資料就是在這個時候開始走向偏離的，你們每次獲取的座標都各不一樣，對準系統工作也有一些紊亂，對嗎？”

康碩笑的十分自信，總工程師那表情簡直就像是大白天見了鬼：“你……你怎麼知道？”

康碩沒有回答他的這個問題，而是接著把光刻機視像自動對準系統所有的流程全部給他分析了一遍，包括其中最可能出現的問題。

這個流程可是複雜的很，從晶圓自動載入開始：

晶圓自動載入→預對準→採集影象→搜尋對準標記→計算座標差→控制掩膜平臺移動對準→反覆重複上述過程的粗調精調→自動曝光→晶圓移出。

到晶圓移出結束。

這整個過程所有可能出現問題的環節，康碩那是一一剖析，聽得總工程師目瞪口呆：

這完全不符合常理啊，這年輕人真是西州大學大三的學生？確定不是阿斯麥的資深工程師？這也太離譜了吧？

“你是怎麼知道這些的？”雖然不該問，但總工程師還是沒忍住，如此問道。

“也沒什麼難的啊，知網裡論文一大堆，流程都能查到啊！”

康碩理所當然的說道：“這些流程在腦子裡多過幾遍，哪兒有問題那不是一目瞭然的嗎？”

“看論文……一目瞭然……”

總工程師突然覺得自己這幾十年白活了：論文他也看啊，他不但看，他還寫呢，他寫的論文知網裡就有不少！

流程就更不用說了，不管是在實驗室還是在產線上，光刻流程他一遍一遍跟，都沒落下過，可以說是一步一步的流程全都印到腦子裡了，他怎麼就沒看出那麼多問題來？

“康先生真的是聰明絕頂！”最後，總工程師只得無奈的這麼說道，內心頗受打擊。

“總工程師可以思考一下，我說的這些問題，你們在實施的過程當中遇到了幾個。”康碩沒有謙虛的反駁，認下了他很聰明這個說法。

聰明就是康碩要立的人設，他就是要讓過目不忘和見微知著成為他的標籤，這樣很多的問題都能解釋了。

“遇到了幾個……”總工程師一回想，那是直接欲哭都無淚：“你所說的問題，我們好像一個不落的全都踩了，或輕或重。”

康碩點了點頭：“那就能解釋為什麼你們最好能做到20nm，最差卻連90nm都達不到了。”

“剛剛說的問題康先生都能解決？”總工程師小心翼翼卻又滿懷期待的問著。

康碩點了點頭，不能解決的問題也不是沒有，但這些問題他剛剛都沒有說，說的那都是能解決的。

“那行！”總工程師立即起身：“我立即向領導報告這件事兒，解決方案對我們極為重要，一定不會讓你吃虧的。”