第17章 折服技術核心(第1/2頁)

這些天，於東一直在江州，保證5G射頻晶片投產就是他目前最大的工作，其他的一切都要往後靠。

產線改造完成試生產的這天，於東也是第一時間過來參觀。

“這……”繞著看起來頗有些醜陋的“注程機”，於東轉了好幾圈，完全看不明白這玩意兒究竟是如何工作的：“不是說跟光刻機的作用差不多嗎？這差別也太大了！”

光刻機非常笨重和複雜，一臺頂尖的光刻機管是安裝除錯有時候都需要半年之久。但光科技的原理卻又很簡單，稍微有點專業知識的人就很容易能夠理解。

即便不是專業人士，那早一二十年，膠片洗照片的流程不難吧？

光刻機的原理跟那個洗黑白照片的傢伙一模一樣，當然了，精密度不是一個量級，光刻機要精密太多了。

而“注程機”就完全不一樣了，外觀看起來，它的結構非常簡單，簡單到一覽無遺。

多數的元器件都是非常常見非常熟悉的，一看都認識。但這組合起來是怎麼工作的來著？完全一頭懵。

除了康碩，沒人知道它具體是怎麼工作的。

於東識趣的沒有開口問，他知道問了康碩也不可能告訴他，訕訕的壓下了內心十足的好奇。

……

“現在進行的外圈的光刻過程，事實上跟傳統晶片的生產過程是完全一樣的，只不過，矽片從這裡出來之後，進入封裝測試流程之前，需要多加一步‘注程’的步驟。”

這裡的核心技術人員康碩都很熟悉，之前都是一起聊過很久的，他也是一步一步的幫助一線除錯各類程式，給他們講解原有的，或者是新增的流程，這算是迴歸上輩子的老本行——產線除錯了。

“還有這兒，你們也都知道，滬都微電子的SSC600槓10系列光刻機，官方資料是能夠滿足12寸晶圓110nm精度光刻需求的。錫州一家公司，包括臺積電的金陵工廠，用同款的光刻機甚至實現了90nm級別的實驗室生產。”

康碩接著說道：“我們只能完成130nm的量產，問題在哪兒呢？這兒！掩膜版與與晶圓的對準流程就是我們整個生產過程這個木桶最短的那根木板，解決了這個問題，至少達到官方資料的水準，量產110nm是毫無問題的。”

聽康碩說這些，在場的技術核心內心毫無波動。

材料熱脹冷縮的特性就會造成掩膜版和晶圓片的對準精度誤差，他們早就發現了，也知道問題出在這兒。

但發現問題又能怎麼樣？解決不了還不是白搭。

雖然之前聊的很好，很投機，康碩也很有水平，但一個沒有任何實操經驗的本科生再有水平又能高到哪兒去呢？頂多跟他們差不多罷了。

所以，這些工程師們並不認為康碩能解決這個問題，聽康碩說這些的時候，他麼的內心甚至毫無波瀾。

康碩略一尋思，就知道這群人在想什麼了，想當年在公司裡遇到大牛的時候，他內心也如此嘀咕過來著，於是，他頓了頓，接著說道：“要想解決這個問題其實很簡單。”

“嗯？簡單？”幾名技術核心同時露出了茫然的神色：印象中，這孩子不是愛說大話的人吶！

“拿兩個標準片，使用同一組晶圓，一個對準圖形的第一掩膜版，另一個對準圖形的第二掩膜版。”

康碩沒有理會他們心裡在嘀咕什麼，事實勝於雄辯，他接著說道：“然後，我們沿光刻系統Y方向整體偏移，預設一個偏移距離，然後曝光顯影。

這個時候，分別測量第一標準片和第二標準片某個重複區域巢狀的圖形之間的相對偏移誤差，將第一誤差和第二誤差的差值作為掩膜版對準圖形的補正引數，以此，我們就能減小這個誤差，提升整體的製造工藝。”