第三百五十一章 投影式光刻技術(第1/2頁)

晚上十二點，整個江夏電子廠的大部分車間都已經黑漆漆一片，只有值夜班的保衛科人員，在打著手電筒來回巡邏。

然而只在晶片車間所在的西北角，這裡仍然燈火通明，那為了避免干擾光刻而獨有的黃光，代表裡面仍然處於緊張的工作狀態，那黃澄澄如同霧濛濛一般的光暈，似乎也預示著光刻作為頂尖精密製造的神秘。

車間辦公室裡，總工程師張本松和一眾工程師都圍坐在桌前開會。

“的確這種投影式光刻機對比之前的接觸式光刻機提高了相當大精度，而且採用凹透鏡和凸透鏡相結合的高斯型鏡頭，也能消除大部分場曲和像差。”

“除此之外還有光掩模的製作，以及烘焙刻蝕這些，也基本和接觸式光刻步驟一樣，不需要我們額外掌握，甚至於由於光掩模無需再直接接觸光刻膠，烘焙的精度也變得不那麼重要，這是我們的優勢。”

“但同時我們也必須注意到，由於接觸改投影，我們也面????????????????臨光刻方面的新問題，首當其衝的就是光衍射問題……”

還是那個最煩人的原理，光不是沿一條直線傳播，而是具有波粒二象性，尤其在透過窄縫以後，這種衍射現象更加嚴重。

“雖然經過今天一天的測試，以及和江夏電子廠的同志，還有遠在寧海的同志交流以後，對我們有很大的啟發，我們也收穫了相當不錯的成果，但這還遠遠不夠，我希望大家明天能再接再厲，早日攻克投影式光刻技術！”

張本松看了一眼牆上的時鐘，然後告訴大家今天時間已經很晚，示意大家都回去休息：“我知道大家都很為技術著急，但攻克技術並不是一朝一夕的事，身體才是革.命的本錢，大家都休息好了，才能以更加飽滿的狀態迎接新的挑戰！”

總結完然後散會，一眾技術工人和工程師們先行離開，張本松留在最後。

有人勸張本松也先去休息，但張本松卻總是笑著表示：“我就差最後一點沒記錄完，這種事情可不能拖，你們先回去休息吧，我記錄完就休息。”

張本松繼續埋頭，雖說他的右手經過醫院的診治已經好的差不多了，但仍然不好握筆，因此影響他記錄工作。

很快一個小時過去，當張本松完成對今天工作的記錄，他卻沒有離開辦公室去休息，而是走向晶片車間，撕下自己記錄的那張紙貼在潔淨室外面的玻璃上。

這是張本松他們的常規操作，由於要確保潔淨室內的絕對乾淨，因此就連紙張他們也避免帶進去，但同時他們又需要根據自己的運算做出調整，只好從外面貼在玻璃上，將玻璃當成提示板用了。

熟練的取出一張打磨好的矽晶圓，按照步驟清洗塗膠烘焙。

儘管這些都是從接觸式光刻沿用下來的步驟，張本松都做過好幾十次，但他仍然小心翼翼，確保每一步都準確無誤。

很快三個小時過去，當張本松帶著隔熱手套從烤箱裡取出烘焙好的矽晶圓時，就聽潔淨室的玻璃杯輕輕敲響，張本松轉頭就看到幾張熟悉的臉孔，那是自己手底下學習最認真的工程師和技術工人。

為了避免說話飛沫汙染潔淨室，張本松打手勢詢問他們怎麼這麼早就來了，現在天亮了嗎？

外面的工程師寫字條高速張本松現在才只凌晨四點，他們是因為睡不著才想著過來車間再做一遍測試，好為白天收集更多的資料。

張本松想喊他們回去休息，可伸出潔淨室，手上還拿著矽片，他沒辦法，只好指了指自己粘在玻璃上的紙條，反正這些人來都來了，就讓他們進來幫幫忙吧。

張本松走到門口告訴他們自己認為提高投影式光刻的精度跟控制光照時間和光刻次數有關。

“雖說光刻就像照相一樣瞬間就能完成，但並不意味著光刻就整體完成，他可能存在光刻不到位的問題，可如果我們提高光照時間和次數，可能又會帶來新的衍射以及過度曝光等問題，我們現在就是要????????????????找到最適合的工藝因子。”

用嘴簡單的話語講解了自己的想法，然後張本松才放其他工程師進來，他們把烘焙好的矽片固定在光刻機上，然後啟動光刻，按照張本松的想法進行反覆曝光。

這一次他們失敗了，矽片在經過刻蝕以後張本松發現在進行了過度曝光後，光刻膠受到很大影響，導致不該被光刻的地方也受到了衍射曝光。

早上方煥志親自為他們送來早餐，見張本松他們居然一晚上沒睡，方煥志嚴厲批評了張本松。

“你應該知道廠裡的制度，我也再三強調你必須休息，你這麼經常性熬夜，如果你倒下了，咱南園電子廠的技術攻關還能由誰來主持？你這不僅是對自己的不負責任，更是對廠子發展的不負責任！”