第157章 靈感突現(第1/2頁)

“光源嗎……”王向中聞言，也是陷入了思索當中。

的確是如林堅博士說的那般，照明系統，也就是光源，才是真正制約光刻水平發展的關鍵因素，其它的事情都能想辦法取巧，無論是浸潤式光刻，亦或是衍射光柵，它都是基於現有光源條件下的改良法。

&n光波波長就決定了，它不可能製作出100nm以下製程的CPU，具有非常嚴重的時代侷限性。

現在國際上最尖端的ArF光刻機所採用的DUV光源波長已經下降到了193奈米，從理論數值來計算，它最高可將解析度提升到65nm，也就是目前全球最先進光刻工藝的極限。

現在用i線光刻機，還用高壓汞燈這一套，不可能鬥得過他們。

“您說得有道理，不過也未必，也許華夏今後幾年就能跟上，把深紫外線照明系統給研究到位呢？”王向中半開玩笑道。

林堅聞言也是搖了搖頭，道：“深紫外線照明沒有這麼簡單。我看你們的資料，目前你們還在研究氣壓對成像系統的影響研究，不要怪我講話難聽，這種技術也就只能用於g線和i線光刻機上。”

“DUV深紫外線，也就是波長低於350奈米的電磁波，是用不到這項研究的，”他補充道：“尤其是VUV真空紫外（波長低於350奈米的電磁波）技術，只能在真空環境下使用，所以和氣壓毫無關係，這個你明白吧？”

“明白。”王向中聞言也是嘆了一口氣，要不是因為沒有其它辦法，誰會願意一直把目光聚焦於i線光刻機的改良啊？

“我聽陳正他講過，你們在研究光刻機改良，所以才把我從阿美瑞肯叫了回來，讓我幫你的忙，不過現在看來，華夏距離先進還差得很遠哦。”林堅搖頭道。

這話倒不是在嘲諷華夏的落後，這林堅博士所說的的確是事實，華夏想要真正自主製造出光刻機，還有很長的一段路要走。

不過在理論研究和實驗研究上，此時的華夏可還一點兒都不輸給西方國家！

“林博士您多慮了，其實華夏研究工作還是很到位的，最首先——華夏還是具有製造深紫外線鐳射器的能力的，至少在實驗室中有這個能力。”王向中笑道。

“實驗室裡能造出來的意義不大啊，”林堅倒是對這個說法感到並不意外，在實驗室不計成本地做一套零部件，以華夏的能力還是可以的，“只要不能量產，再厲害的技術也只是紙上談兵而已。”

“沒關係，路都是一步一步走出來的嘛，”王向中倒是很樂觀，“我們改進康尼的光刻機肯定是用不到換光源模組了，如果要用得著這玩意的話，就必須開始獨立自主製造光刻機了。”

“啥？”林堅聽得眼睛都快發直了，“你說話怎麼這麼靠北哦，還獨立自主製造光刻機，目前能把一塊鏡片做好都不錯了。”

王向中聽到林堅的質疑也是樂了，顯然對方還沒理解過來自己的最終願望和目的所在，於是便避開了這個話題，道：“您看，除了光源以外，咱們還有什麼可以改進的地方嗎？”

林堅聞言也是搖了搖頭，道：“這臺NSR1010G已經是康尼80年代的淘汰產品了，說實話，我都沒想過它的潛力能開發到這個地步，我想大概是沒有什麼改進的必要了，還不如買新的裝置。”

“好吧……”王向中也沒想到，林堅居然有些瞧不起這堆寶貝——儘管在對方看來，是一堆破銅爛鐵，不過在當下這個節骨眼上，華夏也就這些東西可以用了，自從前年瓦森納協議一簽之後，華夏就再也沒進口過任何高精尖產品。

“不過我還是想請教您一個問題，假如說，我真的想自主研發一款DUV接近式光刻機，那我應該先做什麼？”他神情嚴肅，目光中閃爍著前所未有的認真神色。

林堅本來想回應一句先做夢，不過在看到對方那滿是認真神色的光芒後，也是愣了片刻，旋即輕輕嘆了一口氣，道：“如果真的要做光刻機的話，我的建議是先找鐳射器、鏡頭和光刻膠這三個突破口，有了這三個東西以後，其它的電機和機械結構之類的東西，做起來比較更容易一些。”

“好，如果還有問題的話，我再找您吧。”王向中回答道。